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基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究

作者:崔寓淏,窦仁超,王凯,马永强,周雪茜 | 溅射离子泵蒙特卡洛方法分子流

摘要:采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动规律进行数值模拟。建立了不同溅射离子泵结构的几何模型,计算了气体分子在不同泵腔结构中进出比例,分析了腔结构对反流量的影响,得到了抽气组件在不同泵腔结构中的抽气效率,探讨各种类型腔结构的抽气特点;最后计算了舱体高度对抽气性能的影响。结果表明:在相同条件下,I型泵腔结构抽气性能最好,T型泵腔结构次之,双侧型泵腔结构抽气性能最差。

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真空科学与技术学报

期刊简介: 《真空科学与技术学报》(以下简称学报)是由中国真空学会主办,中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物,自1981年创刊以来,深受作者读者好评,在真空行业领域中有着广泛的影响力和赞誉度。本刊为月刊,国内外公开发行,长期被CA和SA等国际著名检索系统收录,期刊影响因子连续两年持续提高。学报刊载基于真空科学与技术的科研论文,包括真空技术与标准、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、真空冶金、电真空技术、核真空技术、宇宙真空学等。

《真空科学与技术学报》(CN:11-5177/TB)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。                                  

栏目设置: 综述评述、研究快报、研究论文、科普专栏、技术交流等栏目。      

期刊收录: Scopus数据库收录、CA和SA等国际著名检索系统收录、《中国知网—中国学术期刊网络出版总库》收录、《中国科技论文统计源期刊(中国科技核心期刊)》收录、《中国科学引文数据库来源期刊》收录、《电子科技文摘》收录、《中国学术期刊(中文版)》收录、《中国学术期刊(英文版)》收录


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